Çѱ¹±¤±â¼ú¿ø, EUV ¹ÝµµÃ¼ ±¤ÇмÒÀçºÎÇ° ÀÚ¸³È ¾÷¹«Çù¾à ¢ßÇϽº ¢ß±×¸°±¤ÇÐ ¢ß¾ËÆÄ¿¡À̵ðƼ |
2024³â 09¿ù 04ÀÏ(¼ö) 15:54 |
|
Çѱ¹±¤±â¼ú¿øÀº ÃÖ±Ù ¢ß¿ÉÅä³×½ºÆ® µî 5°³ ±â¾÷°ú ±ØÀڿܼ±(EUV) ¹ÝµµÃ¼ ¹× Àû¿Ü¼± Ư¼ö ±¤Çаè¿ë ±¤ÇмÒÀçºÎÇ°±â¼ú ÀÚ¸³È ¹× ±¹³» ±¤Çлê¾÷ ±Û·Î¹ú °æÀï·Â È®º¸¸¦ À§ÇÑ ¾÷¹«Çù¾àÀ» ü°áÇß´Ù°í 4ÀÏ ¹àÇû´Ù.
À̹ø Çù¾à¿¡´Â Ư¼ö±¤Çаè¿ë ±¤ÇмÒÀçºÎÇ°¿¡¼ ÇٽɿªÇÒÀ» ¼öÇàÇÏ°í ÀÖ´Â Çѱ¹±¤±â¼ú¿ø°ú ´õºÒ¾î ¢ßÇϽº, ¢ß±×¸°±¤ÇÐ, ¢ß¾ËÆÄ¿¡À̵ðƼ, ¢ß¿ÉÅä³×½ºÆ®, ÅäÇɽº¢ß µî 5°³ ±â¾÷ÀÌ Âü¿©Çß´Ù.
±¤±â¼ú¿øÀº Çù¾à ±â¾÷°ú ±ØÀڿܼ± ¹ÝµµÃ¼ ¹× Ư¼ö ±¤Çаè¿ë ±¤ÇмÒÀçºÎÇ° ÀÚ¸³È¸¦ À§ÇØ »óÈ£ Çù·ÂÇØ ³ª°£´Ù. ¶ÇÇÑ À̵鿡°Ô ¡â¾Ö·Î ±â¼ú °³¹ß ¡â½ÇÁõ Áö¿ø ¡âÇù·Â ÇùÀÇü ±¸¼º µîÀ» ÃßÁøÇÑ´Ù.
À̹ø Çù¾àÀº »ê¾÷Åë»óÀÚ¿øºÎ¿¡¼ Áö¿øÇÏ´Â ¼ÒÀçºÎÇ°±â¼ú°³¹ß»ç¾÷ÀÇ °øµ¿±â¼ú°³¹ß¡¤±â¾÷Áö¿øÀ» ÁÖ°ü ±â¾÷-Âü¿© ±â°üÀÇ È¿À²Àû »ç¾÷ ¼öÇàÀ» À§ÇØ ¸¶·ÃµÆ´Ù.
»ç¾÷Àº ÃÑ µÎ°³·Î ³ª´¶´Ù. ÇϽº¡¤¾ËÆÄ¿¡À̵ðƼ¡¤±×¸°±¤ÇÐÀº ÃÑ »ç¾÷ºñ 200¾ï, 54°³¿ù °£ ¡®13.5nm ±ØÀڿܼ± °Ë»çÀåºñ ±¤Çаè¿ë ±¤ÇмÒÀç ºÎÇ° ±â¼ú°³¹ß »ç¾÷¡¯À» ½Ç½ÃÇÑ´Ù. ÀÌ´Â EUV ³ë±¤Àåºñ ¹× °Ë»çÀåºñ¿ë ±¤¿ø¡¤ÇÙ½É ±¤ÇÐ ¼ÒÀçºÎÇ°À» Àü·® ÇØ¿Ü ¼öÀÔ¿¡ ÀÇÁ¸ÇÏ´Â ±â¼ú Á¾¼Ó¿¡¼ Å»ÇÇÇÏ°íÀÚ ½Ç½ÃÇÑ´Ù.
±ØÀڿܼ± °Ë»çÀåºñ ¹Ý»ç±¤Çа迡 Àû¿ë °¡´ÉÇÑ ±ØÀú¿ÆØâ À¯¸®¼¼¶ó¹Í ±¤ÇмÒÀç, °í¹Ý»ç ¹Ý»ç°æ Á¦ÀÛ ¹× Çٽɱâ¼úÀ» ³»ÀçÈÇÏ´Â °ÍÀÌ ¸ñÇ¥´Ù.
¡®´ÜÆÄÀåÀû¿Ü¼±(SWIR) ±¤Çаè¿ë °í±¼Àý ±¤ÇмÒÀçºÎÇ° ±â¼ú°³¹ß »ç¾÷¡¯¿¡´Â ¿ÉÅä³×½ºÆ®¡¤±×¸°±¤ÇС¤ÅäÇɽº°¡ Âü¿©ÇÑ´Ù. 54°³¿ù °£ »ç¾÷ºñ 200¾ï ¿øÀÌ ÅõÀڵȴÙ.
°íºÎ°¡°¡Ä¡ ±¤ÇÐÀ¯¸®¡¤¼¼¶ó¹Í ±¤ÇмÒÀç ¹× Æ¯¼öȯ°æ ¿µ»ó°üÃø¿ë ´ÜÆÄÀåÀû¿Ü¼± ±¤Çиðµâ, Ä«¸Þ¶ó ±â¼ú°³¹ßÀ» ÅëÇØ ±¹³» °øÇ×, Ç׸¸, ¿¬¾È °üÁ¦ Çع«È¯°æ µî¿¡¼ »ç°í¿¹¹æ¡¤¾ÈÀüÀ» À§ÇÑ ¿µ»ó ½ÇÁõÀ» ÁøÇàÇÑ´Ù.
Çѱ¹±¤±â¼ú¿ø ½Å¿ëÁø ¿øÀåÀº ¡°¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ ÃÊ°ÝÂ÷ ±â¼úÈ®º¸¸¦ À§ÇØ ±ØÀڿܼ±°ú ½Å½ÃÀå âÃâÀÌ °¡´ÉÇÑ ´ÜÆÄÀå Àû¿Ü¼± ±¤ÇмÒÀçºÎÇ°±îÁöÀÇ ±¹»êÈ ±âƲÀ» ¸¶·ÃÇÏ°í ±¹³» ±¤Çлê¾÷ °æÀï·Â °È¿Í ÀÚ¸³È¿¡ ¾ÕÀå¼°Ú´Ù¡±°í ¸»Çß´Ù. È«½ÂÇö ±âÀÚ
À̹ø Çù¾à¿¡´Â Ư¼ö±¤Çаè¿ë ±¤ÇмÒÀçºÎÇ°¿¡¼ ÇٽɿªÇÒÀ» ¼öÇàÇÏ°í ÀÖ´Â Çѱ¹±¤±â¼ú¿ø°ú ´õºÒ¾î ¢ßÇϽº, ¢ß±×¸°±¤ÇÐ, ¢ß¾ËÆÄ¿¡À̵ðƼ, ¢ß¿ÉÅä³×½ºÆ®, ÅäÇɽº¢ß µî 5°³ ±â¾÷ÀÌ Âü¿©Çß´Ù.
±¤±â¼ú¿øÀº Çù¾à ±â¾÷°ú ±ØÀڿܼ± ¹ÝµµÃ¼ ¹× Ư¼ö ±¤Çаè¿ë ±¤ÇмÒÀçºÎÇ° ÀÚ¸³È¸¦ À§ÇØ »óÈ£ Çù·ÂÇØ ³ª°£´Ù. ¶ÇÇÑ À̵鿡°Ô ¡â¾Ö·Î ±â¼ú °³¹ß ¡â½ÇÁõ Áö¿ø ¡âÇù·Â ÇùÀÇü ±¸¼º µîÀ» ÃßÁøÇÑ´Ù.
À̹ø Çù¾àÀº »ê¾÷Åë»óÀÚ¿øºÎ¿¡¼ Áö¿øÇÏ´Â ¼ÒÀçºÎÇ°±â¼ú°³¹ß»ç¾÷ÀÇ °øµ¿±â¼ú°³¹ß¡¤±â¾÷Áö¿øÀ» ÁÖ°ü ±â¾÷-Âü¿© ±â°üÀÇ È¿À²Àû »ç¾÷ ¼öÇàÀ» À§ÇØ ¸¶·ÃµÆ´Ù.
»ç¾÷Àº ÃÑ µÎ°³·Î ³ª´¶´Ù. ÇϽº¡¤¾ËÆÄ¿¡À̵ðƼ¡¤±×¸°±¤ÇÐÀº ÃÑ »ç¾÷ºñ 200¾ï, 54°³¿ù °£ ¡®13.5nm ±ØÀڿܼ± °Ë»çÀåºñ ±¤Çаè¿ë ±¤ÇмÒÀç ºÎÇ° ±â¼ú°³¹ß »ç¾÷¡¯À» ½Ç½ÃÇÑ´Ù. ÀÌ´Â EUV ³ë±¤Àåºñ ¹× °Ë»çÀåºñ¿ë ±¤¿ø¡¤ÇÙ½É ±¤ÇÐ ¼ÒÀçºÎÇ°À» Àü·® ÇØ¿Ü ¼öÀÔ¿¡ ÀÇÁ¸ÇÏ´Â ±â¼ú Á¾¼Ó¿¡¼ Å»ÇÇÇÏ°íÀÚ ½Ç½ÃÇÑ´Ù.
±ØÀڿܼ± °Ë»çÀåºñ ¹Ý»ç±¤Çа迡 Àû¿ë °¡´ÉÇÑ ±ØÀú¿ÆØâ À¯¸®¼¼¶ó¹Í ±¤ÇмÒÀç, °í¹Ý»ç ¹Ý»ç°æ Á¦ÀÛ ¹× Çٽɱâ¼úÀ» ³»ÀçÈÇÏ´Â °ÍÀÌ ¸ñÇ¥´Ù.
¡®´ÜÆÄÀåÀû¿Ü¼±(SWIR) ±¤Çаè¿ë °í±¼Àý ±¤ÇмÒÀçºÎÇ° ±â¼ú°³¹ß »ç¾÷¡¯¿¡´Â ¿ÉÅä³×½ºÆ®¡¤±×¸°±¤ÇС¤ÅäÇɽº°¡ Âü¿©ÇÑ´Ù. 54°³¿ù °£ »ç¾÷ºñ 200¾ï ¿øÀÌ ÅõÀڵȴÙ.
°íºÎ°¡°¡Ä¡ ±¤ÇÐÀ¯¸®¡¤¼¼¶ó¹Í ±¤ÇмÒÀç ¹× Æ¯¼öȯ°æ ¿µ»ó°üÃø¿ë ´ÜÆÄÀåÀû¿Ü¼± ±¤Çиðµâ, Ä«¸Þ¶ó ±â¼ú°³¹ßÀ» ÅëÇØ ±¹³» °øÇ×, Ç׸¸, ¿¬¾È °üÁ¦ Çع«È¯°æ µî¿¡¼ »ç°í¿¹¹æ¡¤¾ÈÀüÀ» À§ÇÑ ¿µ»ó ½ÇÁõÀ» ÁøÇàÇÑ´Ù.
Çѱ¹±¤±â¼ú¿ø ½Å¿ëÁø ¿øÀåÀº ¡°¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ ÃÊ°ÝÂ÷ ±â¼úÈ®º¸¸¦ À§ÇØ ±ØÀڿܼ±°ú ½Å½ÃÀå âÃâÀÌ °¡´ÉÇÑ ´ÜÆÄÀå Àû¿Ü¼± ±¤ÇмÒÀçºÎÇ°±îÁöÀÇ ±¹»êÈ ±âƲÀ» ¸¶·ÃÇÏ°í ±¹³» ±¤Çлê¾÷ °æÀï·Â °È¿Í ÀÚ¸³È¿¡ ¾ÕÀå¼°Ú´Ù¡±°í ¸»Çß´Ù. È«½ÂÇö ±âÀÚ